EDX2000A能量色散X熒光光譜儀(全自動微區(qū)膜厚測試儀)對平面、凹凸、拐角、弧面等簡單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進行快速對焦分析，滿足半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試需求。通過自動化的X軸Y軸Z軸的三維移動，雙激光定位和保護系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
電鍍行業(yè)、電子通訊、新能源、五金衛(wèi)浴、電器設(shè)備
汽車制造、磁性材料、貴金屬電鍍、高校及科研院所等
分析元素范圍：從硫（S）到鈾（U） 
同時檢測元素：多24個元素，多達五層鍍層
檢出限：可達2ppm，薄可測試0.005μm
分析含量：一般為2ppm到99.9% 
鍍層厚度：一般在50μm以內(nèi)（每種材料有所不同）重復(fù)性：可達0.1%
穩(wěn)定性：可達0.1%
SDD探測器：分辨率低至135eV
采用的微孔準直技術(shù)，小孔徑達0.1mm，小光斑達0.1mm
樣品觀察：配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與 
Ф0.3mm四種準直器組合
儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
樣品臺尺寸：393(W)x 258 (D）mm

x射線測厚儀是一種檢測儀器，以PLC和工業(yè)計算機為核心，采集計算數(shù)據(jù)并輸出目標偏差值給軋機厚度控制系統(tǒng)，已達到要求的軋制厚度。
    x射線測厚儀是一種，以和工業(yè)計算機為核心，采集計算數(shù)據(jù)并輸出目標偏差值給軋機厚度，已達到要求的軋制厚度。今天我們主要來介紹一下x射線測厚儀的系統(tǒng)構(gòu)成方法，希望可以幫助用戶更好的應(yīng)用產(chǎn)品。
用戶操作終端
用戶操作終端包括一個的計算機和高分辨率的彩色。可顯示整個系統(tǒng)的檢測、設(shè)定、偏差值;用戶通過軟件顯示頁面可直接控制和操作測厚儀。主操作頁顯示正常操作所需的各種數(shù)據(jù)。維護頁面顯示系統(tǒng)正常工作時各種參數(shù)高壓反饋、管電流、燈絲電流、射線源溫度等。一些與用戶質(zhì)量有關(guān)的重要數(shù)據(jù)如厚差曲線、厚度與長度關(guān)系曲線均可打印。技術(shù)員能很容易地通過操作終端的報表打印功能，打印出來以顯示可用信息。
冷卻系統(tǒng)
本系統(tǒng)配備有冷卻裝置，該裝置的關(guān)鍵部件，壓縮機組均采用進口原裝組件，具有可靠性高、噪音小、控溫精度高，經(jīng)久耐用等特點。通過C型架上進出油口進行冷卻。了關(guān)鍵部件的使用壽命。
X射線發(fā)射源及接收檢測頭
采用X射線管和。X射線管裝在一個抽真空后注滿油的全密封的油箱中保證絕緣和良好冷卻，高壓等級根據(jù)有所區(qū)別，加上具有的溫度自動保護與功能，提高了X射線管的穩(wěn)定性和使用壽命。模塊化設(shè)計、免維護設(shè)計方案及規(guī)范的制造保證了設(shè)備系統(tǒng)高可靠性。
檢測頭采用電離室和電子前置放大器組成高性能電離室檢測頭，離子室設(shè)計具有大空間，高抗干擾性、高靈敏度等特點。系統(tǒng)備有風(fēng)冷、油冷恒溫冷卻單元，系統(tǒng)的使用壽命。
主控制柜
主控制柜是一個立式控制臺，是個系統(tǒng)的心臟。根據(jù)制系統(tǒng)配置不同，P型采用S7-400PLC作為控制計算中心;G型采用為控制計算中心?？刂乒褙撠?zé)采集和處理從前置放大器傳來的，負責(zé)測厚儀數(shù)據(jù)處理和與軋機AGC系統(tǒng)的接口輸出，為軋機AGC系統(tǒng)提供測厚數(shù)據(jù)及控制。控制柜還提供整個系統(tǒng)穩(wěn)定的和現(xiàn)場顯示器的顯示數(shù)據(jù)。

性能優(yōu)勢
1、結(jié)合鍍層行業(yè)微小樣品的檢測需求,專門研發(fā)適用于鍍層檢測的超近光路系統(tǒng),減少能量過程損耗。搭載的多導(dǎo)毛細管聚焦管,大的提升了儀器的檢測性能,聚焦強度提升1000~10000倍,更高的檢測靈敏度和分析精度以及高計數(shù)率保證測試結(jié)果的性和穩(wěn)定性。
2、全景+微區(qū)雙相機設(shè)計,呈現(xiàn)全高清廣角視野,讓樣品觀察更全面;微米級別分辨率,的滿足超微產(chǎn)品的測試,讓測試更廣泛更便捷。
3、的多導(dǎo)毛細管技術(shù),信號強度比金屬準直系統(tǒng)高出幾個數(shù)量級。
4、多規(guī)格可選的多導(dǎo)毛細管,的滿足用戶不同測試需求。
5、高精度XYZ軸移動測試平臺,結(jié)合雙激光點位定位系統(tǒng),可實現(xiàn)在樣品測試過程中的全自動化感受一鍵點擊,測試更省心。

X射線測厚儀使用而實用的正比計數(shù)盒和電制冷探測器，以實在的價格定位滿足鍍層厚度測量的要求，且全新的更具有現(xiàn)代感的外形、結(jié)構(gòu)及色彩設(shè)計，使儀器操作更人性化、更方便。

2、性能優(yōu)勢

長效穩(wěn)定X銅光管
半導(dǎo)體硅片電制冷系統(tǒng)，摒棄液氮制冷
采用天瑞儀器產(chǎn)品—信噪比增強器（SNE）
內(nèi)置高清晰攝像頭，方便用戶隨時觀測樣品
脈沖處理器，數(shù)據(jù)處理快速準確
手動開關(guān)樣品腔，操作安全方便
三重安全保護模式
整體鋼架結(jié)構(gòu)、外型高貴時尚
Fp軟件，無標準樣品時亦可測量

3、技術(shù)指標

分析范圍： Ti-U，可分析3層15個元素
分析厚度：一般0.05-30um（不同元素厚度有所不同）
分析精度：多次測量穩(wěn)定性可達1%.
工作電壓：AC 110V/220V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）
測量時間：40秒（可根據(jù)實際情況調(diào)整）
探測器分辨率：（160±5）eV
光管高壓：5-50kV
管流：50μA-1000μA
環(huán)境溫度：15℃-30℃ 
環(huán)境濕度：30%-70%
準直器：配置不同直徑準直孔，小孔徑φ0.2mm
江蘇天瑞儀器股份有限公司是具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高科技企業(yè)，注冊資本49551.1725萬。旗下?lián)碛刑K州天瑞環(huán)境科技有限公司、北京邦鑫偉業(yè)技術(shù)開發(fā)有限公司、上海貝西生物科技有限公司、天瑞環(huán)境科技（仙桃）有限公司、四川天瑞環(huán)境科技有限公司、河南省天瑞環(huán)境科技有限公司、廈門質(zhì)譜儀器儀表有限公司、蘇州智慧天瑞環(huán)保科技有限公司、湖北天之瑞智海創(chuàng)新研究院有限公司九家全資子公司和江蘇國測檢測技術(shù)有限公司、上海磐合科學(xué)儀器股份有限公司、沁水璟盛生活垃圾全資源化有限公司、雅安天瑞水務(wù)有限公司、安岳天瑞水務(wù)有限公司五家控股子公司?？偛课挥陲L(fēng)景秀麗的江蘇省昆山市陽澄湖畔。公司從事光譜、色譜、質(zhì)譜等分析測試儀器及其軟件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
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